일반기술
고순도의 동위 원소 첨가물silane
고순도 동위원소 첨가물 실란(silane) 합성법이 개발되었다. 처음으로 28 Si를 위한99.98%의 동위원소, 29 Si를 위한 99,2% 동위원소가 함유된 고순도의 모노실란 샘플을얻게 되었으며, 그리고 금속 혼합물이 낮게 함유되어 있는 30 Si를 위한 99.7%의 동위원소 샘플을 얻게 되었다. 표출된 샘플에서 모노실란의 순도가 한계가 있는 탄소 C1-C4 혼합율 총량은 1.10-5 5를 넘지 않는다.적용 분야: 모노크리스탈 및 막(film) 모양에서 실리콘 획득 뿐 아니라, 실리콘 이산화물코팅 합성. 단일 실리콘 겉면 성장 층(epilayer)을 얻기 위한 다양한 종류의 고순도 실란전망과 동위원소 이질구조.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 화학
- 보유기관
- (재)송도테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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