일반기술
고도 가로 균일성의 광구경 유도 커플플라스마 소스
ICP 소스 내 플라스마 파라미터의 방사 균일성. RF-power 600 Watt 시 BF3-플라스마 조사 측정, 체임버 압력 2.5 mTorr 세부 사항: 방전 유형 - 플라스마 자기 밀폐 RF-Coil, 피딩 제너레이터 - 13,56 MHz, 3000 Watt 까지, 작동 압력 범위 - 1x10-4 - 1x10-2 Torr,작동 가스 - H2, He, Ar, CxFy, SF6, O2, BF3, 플라스마 밀도(Ar 방전) - 3x10-3 Torr시3x1012 cm-3, 전자 온도 - < 5 eV
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- (재)송도테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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