일반기술

변형 플라즈마 토치

□ 기술개요본 플라즈마 토치는 플라즈마가 2차 코일의 역할을 해 주는 변압기이다. 이 플라즈마 코일은 교류 전압에 의해 공급된 1차 권선과 유도성 연결을 하고 있다. 본 변형 플라즈마 토치는 가스히터로, 또는 플라즈마-화학 반응기로 사용될 수 있다. 다용도 플라즈마-화학 반응(공기로부터 질소 산화물의 합성, 합성 가스를 천연 가스로 변환 등)이 플라즈마실과 플라즈마 토치로부터 방출되는 가스-플라즈마 제트에서 얻어질 수 있다. 기술 평가 및 경제성 본 플라즈마 토치의 주요 이점은 전극의 부재이며 이는 수명을 매우 길게 해 주고(수만 시간) 공격성 가스(산소, 불소, 염소 등)의 순수 저온 플라즈마 생산을 가능하게 해 준다. □ 응용분야화학 산업: 플라즈마-화학 처리과정을 사용하는 신기술의 개발(질소 산화물의 합성, 탄화 플루오르 화합물의 생산 등과 같은) 마이크로일렉트로닉스: 온도 제어 기능이 있고 공격성 가스에 적용 가능한 저압 플라즈마 화로의 개발 □ 개발 단계 10 Pa에서 2х105 Pa으 압력과 20 g/sec에 달하는 가스 유속에서 작동하는 10-kHz a.c. 전 류용 200 kW 실험 샘플"