일반기술

회절성 광학 소자 제작 및 응용

고성능 회절 광학 기기의 발전은 중간조 마스크 (half-tone mask)를 제작하는 새로운 도전을 맞이하였습니다.러시아 과학원 시베리아 분원, 자동화 및 전자계측 연구소는 레이저 방사선의 효과가 미칠 때 투과율이 변화하는 매질에서 중간조 마스크를 직접 레이저가 기록하는 방법을 개발하였습니다 (LDW-유리 및 비정질 실리콘 막).새 기술을 적용하기 위한 원형 레이저 가공 시스템 (circular laser writing system, CLWS)을 개발합니다. 이는 기판은 기록 물질이 기체정역학적 물레에 의해 회전이 되는 한편, 집중된 알곤 레이저 빔 (직경 0.5 mcm)이 0.1 mcm의 정밀도로 기판의 반경을 따라 움직입니다. 빔 출력은 기판의 회전과 동시에 변조됩니다.□ 기술의 평가 및 이익- 제작 공정이 단순함- 정밀도가 높음- 넓은 범위 (mcm/s에서 최대 m/s까지)의 레이저 빔 속도 및 광범위한 파장 범위로, 굴곡이 있는 표면에 가공이 가능하며, 대형 및 두꺼운 기판에 - 가공이 가능함.