일반기술

건축용 판유리 표면처리용 진공 스퍼터링 장비 VNUK-3

이 장치는 진공 스퍼터링을 위한 장치로, 건축용 평판유리(가로 세로 1.6 x 2.3 m²)위에 저방사 이면서 태양광을 조정하는 증착(low-emissive and solar control coatings), 장식이나 거울면 코팅 증착을 목적으로 한다. 동시에 2장의 유리판을 마그네트론 스퍼터링 시스템을 통해 증착한다.□ 출하제품 전체구성1.진공챔버와 조종기2.마그네트론 스퍼터링시스템3.이온-프라즈마 클리닝시스템4.전력원5.진공펌프 시스템6.자동조정기7.증착기술□ 기술적 사양성능 특성치1. 크기 (길이x높이x폭) 3.5 x 2.5 x 1.7 m2. 설비 총 면적 200 m² 3. 가동사이클당 물소비량 1.5 m³ 4. 평균소비전력 35 kW5. 최대소비전력 90 kW 6. 작동사이클당 제품수 2 장(280x160 cm²)7. 평균가동지속시간 75 min8. 제품의 종류8.1 장식용 반투명 건축용 유리- 반투명 코팅재 : 티타늄, 스테인레스강- 코팅층 투명도의 균일성 : + 5%8.2 거울- 반사 코팅재 : 티타늄, 알루미늄, 스테인레스강8.3 저방사 코팅층을 가지는 건축용 유리- 기능층 재료 : 은(Ag)- 가시광에서 코팅층 투명도: 72% 이상- 적외선 범위(9.8 m)에서 방사율 : 0.1 이하9. 월 생산량(3 교대시)- 장식용 반투명 건축용 유리 및 거울재 5,000 m²- 저방사 유리 2,500 m²