일반기술

건축용 판유리 표면처리용 진공 스퍼터링 장비 VNUK-2

이 장치는 진공 스퍼터링을 위한 장치로, 건축용 평판유리(가로 세로 2 x 3 m²)위에 장식이나 거울면 코팅 증착을 목적으로 한다. 동시에 4장의 유리판을 마그네트론 스퍼터링 시스템을 통해 증착한다□ 출하제품 전체구성1.진공 챔버와 조정기2.마그네트론 스퍼터링 시스템3.이온-프라즈마 클리닝 시스템4.전력원5.진공펌프 시스템6.조정기7.증착기술□ 기술사양성능 특성치1. 크기 (길이x높이x폭) 3.5 x 2.5 x 2.7 m2. 설비 총 면적 200 m² 3. 가동사이클당 물소비량 2.5 m³ 4. 평균소비전력 50 kW 5. 최대소비전력 100 kW 6. 작동사이클당 제품수 4 장(230x320cm²)7. 평균가동지속시간 60 min8. 제품의 종류 8.1 장식용 반투명 건축용² 유리- 반투명 코팅재 : 티타늄, 스테인레스강- 코팅층 투명도의 균일성 : + 5% 8.2 거울- 반사 코팅재 : 티타늄, 알루미늄, 스테인레스강9. 월 생산량(3 교대시) - 장식용 반투명 건축용 유리 및 거울재 10,000 m²