일반기술

고온 필라멘트를 이용한 플라즈마 소스 “PINK”

고온 텅스텐 필라멘트를 이용한 비자활(non self-sustainded) 저압 아크 방전으로 발생한 고밀도 균질 플라즈마는 재료, 제품상에 기능성 코팅시 이온 플라즈마 증착에 대한 기술적 공정을 강화하고 안정화하는데 이용된다.□ 파라미터- 방전 전류 : 10~100 [A]- 방전 전압 : 40~60 [V]- 동작 압력 : 0.05 ~ 1 [Pa]- 플라즈마 밀도 : 109 ~1010 [cm-3]- 크기 : ø 300~500 [mm]플라즈마 소스 “PINK” 는 대형 진공로에서 고밀도 균질 플라즈마를 생산하는데 이용되고, 재료 표면 처리의 복합 기술 구현을 위한 장비의 현대화(기술적인 역량 확장)하는데 이용된다.플라즈마 소스 “PINK”는 다음과 같은 분야에 적용할 수 있다.- 고에너지 효율의 저온 벌크 플라즈마 발생- 진공 아크 증착기내의 마이크로 입자 저감- 음극 재료에 의한 오염 없이 표면의 세정, 에칭, 활성화- 플라즈마 코팅 공정의 단순화-고경도(30GPa), 내마모성, 내부식성 등의 특성을 갖는 미세/나노 구조 코팅층 형성