일반기술
고출력 엑시머 레이저
이 장치는 고출력 자외선 단일파장 펄스 방사를 제공하기 위해 고안됨.□ 기술의 구성- 레이저 셀, 캐패시터, 스위치로 구성된 레이저 블록- 스위치들을 위한 펄스 발생기와 고전압 전원장치를 포함하는 전기제어 블록- 진공펌프, 가스혼합 시스템의 구동,그리고 가스실린더를 포함하는 가스제어 블록
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 중소기업진흥공단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-03-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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