일반기술

고-전력 마그네트론 스퍼터링 시스템용 아크-억제 장치

엑실램프는 엑시머 붕괴나 들뜬 복합체 분자로 인해 생성되는 자연발생적 자외선 방사의 전기-충전 소스입니다. 방출 스펙트럼은 한 개나 몇 개의 좁은 띠로 구성되며, 띠 최대값은 선택된 작업 분자의 방출과 관련 있는 파장에서 나타납니다. 고-전력 마그네트론 스퍼터링 시스템 작용에서, 특히 반응적 스퍼터링 영역 하에서, 주요 문제점 중 하나는 음극 아킹입니다. 아크 단계로 이례적으로 선명한 충전 변환이 음극에서 이질성의 활용성. 필드 첨예화, 절연성 불순물 등으로 인해 발생합니다.아킹 제어를 위해, 한 마이크로초 순서의 작용 시간과 함께 스위치를 사용하는 것이 필요합니다. 이 목적에 가장 적절한 것은 절연 게이트 바이폴러 트랜지스터(IGBT)입니다. 결합시킨 IGBT 모듈에서 만들어진 아크-억제 시스템을 개발하고, 제작하였으며, 실험하였습니다. 장치를 직류 공급 소스와 마그네트로 간의 마그네트론 피드 회로로 연결하였습니다. 스위치 제어 구조는 다음의 주요 기능을 실행합니다.□ 기술의 평가 및 이익- 스위치 제어는 원격 제어판에서 만들어집니다.- 보호 적용 시간1 - 5 s- 아크에서 에너지 추출50 mJ를 넘지 않는다.- 변경된 전력40 kW까지- 변경된 적용 전압800 W까지- 적용 전류50 A까지- 보호 적용 전류의 제어 범위30 - 100 A