일반기술

회전 실린더 음극의 선형 마그네트론

회전 실린더 음극의 선형 마그네트론 스퍼터링 시스템(LMSS)을 큰 영역 기질, 특히 건축 유리에 대해 금속과 그 혼합물 도포를 침전시킬 고 직접출력 진공 설치에 사용하고자 하였습니다.높은 음극 활용 범위(80%까지)는 회전 마그네트론의 주요 장점입니다. 설치 시공 및 요청 사항에 따라, 계속해서 목표물을 회전시키는 마그네트론이나 주기적으로 수동으로 목표물을 바꾼 마그네트론을 둘 다 제공해 드릴 수 있습니다. 반응적 스퍼터링 과정에서 안정성이 높게 나타나는 것이 계속해서 목표물을 회전시키는 마그네트론의 부가 이점입니다.□ 기술의 평가 및 이익계속해서 목표물을 회전시키는 마그네트론은 움직이지 않은 공급원과 함께 컨베이어 유형 스퍼터링 시스템과 배치 유형 스퍼터링 시스템에 사용할 목적으로 기획되었습니다.□ 적용분야요청 사항에 따라, 직경상으로 반대 방향의 탁탁 튀는 입자 한 흐름 또는 두 흐름을 형성하는 자기 시스템과 함께 마그네트론을 제안할 수 있습니다. 두 번째 디자인은 동시에 두 평평한 기질에 대한 도포를 침전시킬 수 있게 합니다.자기 시스템 디자인은 컴퓨터 모의실험 결과에 기반을 두고 있으며, 필수 목표 erosion에서 도포 침전의 고 균질성을 제공합니다.음극 재료뿐만 아니라 LMSS 길이도 고객이 선택할 수 있습니다.