일반기술

회전하는 양극을 사용한 롱 마그네크론(자전관) 전자파 발생장치

회전하는 원통형 양극을 사용한 롱 마그네트론(자전관) 전자파 발생 장치는 건축용 유리를 포함한 대형 안벽에 금속 및 화합물을 도막하기 위한 대량 생산 진공 증착기(또는 진공 피복장치)에 사용됩니다. 전자파 발생장치(아토마이저)는 직경 60 120 mm, 길이가 최대 2.5 m에 이르는 증착된 금속 관으로 제작합니다. 타겟(양극)은 일정한 Sm-Co 자력 시스템과 수냉식 채널을 포함합니다. 양극은 서로 다른 부품을 증착에 노출시키면서 자석 주위를 회전합니다.자석은 단일 유동을 생산하는 원 웨이 방식 또는 두 개의 안벽을 동시에 증착하기 위한 두 개의 반대편 유동을 생산하는 투 웨이 방식 중 하나입니다.자석 시스템은 마모된 타겟일지라도 높은 균질성을 갖는 도금을 제공합니다.□ 기술의 평가 및 이익원통형 마그네트론은 유사 제품에 비해 타겟 재료를 최대 80%까지 활용할 수 있다는 장점을 갖고 있습니다. 마그네트론에는 진공 증착기의 종류와 생산성에 따라 연속으로 또는 주기적으로 회전하는 타겟이 장착됩니다. 연속 회전 타겟은 반응 증착 모드에서 지속적인 작동을 제공합니다□ 응용분야연속으로 회전하는 타겟은 정지된 소스에 대한 주기적인 플랜트 가동시 또는 이송 처리중인 플랜트에서 가장 효과적입니다.주기적으로 회전하는 타겟은 이동식 소스에 대한 주기적인 플랜트에 적용할 수 있습니다. 양극 회전은 정기적인 진공실의 개방으로 트리거됩니다.