일반기술

레이저 두께 측정 장치

해당 장치는레이저를 측정 대상체의 윗면과 아래 면에 점(spot)으로 조사시키는 레이저 빔 조사장치와, 측정 대상체 양 표면에서 산란되는 2개의 레이저 점 영상들을 하나의 선형 어레이 센서에 맺도록 하는 영상 광학계와 2개의 레이저 점의 위치 영상을 획득하는 하나의 선형 어레이 센서와, 획득한 2개의 레이저 점의 위치 영상 정보로부터 중심 픽셀들을 찾아서 물체의 두께 정보를 추출하는 신호처리 장치로 구성된 레이저 광학식 두께 측정 장치에 대한 것으로 특히, 레이저 빔 조사 장치는 각각 물체의 윗면과 아래 면에 레이저 점을 조사하도록 구성되고 측정 대상체의 윗면과 아래 면에서 산란된 레이저 점들은 측정 대상체의 윗면과 아래 면에 각각 구성되어 있는 영상 광학계를 거쳐서 하나의 선형 어레이 센서에 2개의 레이저 점의 영상이 맺히도록 구성되어 신호처리 장치에서 이 2개의 레이저 점 영상의 간격으로부터 물체의 두께를 추출하도록 구성된다. 해당 장치는하나의 선형 어레이 센서로 윗면과 아래 면에서 검출한 레이저 점의 위치를 추출하기 때문에 기존에 2개의 거리 센서를 사용한 레이저 두께 측정 방법에 비해 정렬과 영점조정이 간단하고 정확하며, 두 센서의 측정 순간을 일치시키기 위한 별도의 동기 장치가 필요 없다는 장점이 있다.