일반기술

광학식 두께측정 방법과 장치

해당 기술은 레이저 등의 광원을 측정 대상체의 윗면과 아래 면에 점(spot)으로 조사시키는 광 조사장치와, 측정 대상체 양 표면에서 산란되는 2개의 광점 영상들을 하나의 선형 어레이 센서에 맺도록 하는 영상 광학계와 2개의 광점의 위치 영상을 획득하는 하나의 선형 어레이 센서와, 획득한 2개의 광점의 위치로부터 물체의 두께 정보를 추출하는 신호처리 장치로 구성된 광학식 판재 두께 측정 방법 및 장치에 대한 것으로 특히, 광 조사 장치는 각각 물체의 윗면과 아래 면에 광점을 조사하도록 구성되고 측정 대상체의 윗면과 아래 면에서 산란된 2개의 광점들은 측정 대상체의 윗면과 아래 면에 각각 구성되어 있는 펜타프리즘을 사용한 영상 광학계를 거쳐서 하나의 선형 어레이 센서에 영상이 맺히도록 구성되어 신호처리 장치에서 이 2개의 광점 영상의 위치와 간격으로부터 물체의 두께를 추출하도록 구성된다. 해당 기술은 하나의 선형 어레이 센서로 윗면과 아래 면에서 산란된 광점의 위치를 추출하기 때문에 기존의 2개의 거리 센서를 사용하는 광학식 두께측정방법에 비해 정렬과 영점조정이 간단하고 정확하고 두 센서의 측정 순간을 일치시키기 위한 별도의 동기 장치가 필요 없다는 장점이 있으며, 또한 영상 광학계에 펜타프리즘을 도입하여 빔 입사각과 영상 광학계의 각도를 자유롭게 조절할 수 있으므로 다양한 응용에 맞는 장치를 구성할 수 있다는 장점이 있다.