일반기술

미세 다중결함 측정을 위한 레이저 초음파 검사 장치 및 방법

해당 기술은 미세 다중결함 측정을 위한 레이저 초음파 검사장치 및 방법에 관한 것으로, 그 목적은 스캔이 되는 하나의 레이저 빔으로 초음파 신호를 발생시키는 펄스레이저 장치와 스캔 축 상에서 펄스레이저 빔의 조사 위치로부터 인접한 곳에 위치한 첫 번째 측정용 레이저 빔과 측정시편의 이면에 맞아서 되돌아오는 첫 번째 횡파를 측정할 수 있는 스캔축 상의 거리에 있는 두 번째 측정용 레이저 빔을 사용하여 초음파를 측정하는 이중파동혼합 레이저 간섭계와 영점통과점을 기준으로 다중창을 사용하여 신호분리된 각 신호에 대해 정밀한 상대 비교를 수행하는 상대비교 신호처리 장치를 이용하여 미세한 다중 표면 결함과 내부 결함 및 이면 결함의 정보를 추출하는 레이저 초음파 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 있다. ; 해당 기술의 구성은 크게 초음파를 발생시키기 위한 펄스레이저빔 조사장치(2)와; 두 위치(C1, C2)에서 초음파 신호를 검출하기 위하여 광굴절 물질을 사용하는 이중파동 혼합 레이저 간섭계(4)와; 장치 제어와 신호처리를 담당하는 컴퓨터 시스템(1);으로 구성되고, 이러한 장치를 이용한 미세한 다중 표면 결함과 내부 결함 및 이면 결함의 정보를 추출하는 방법을 그 기술적 사상의 특징으로 한다.