일반기술

레이저 초음파 검사장치

해당 기술은 레이저 유도 초음파 검사 시스템에 관한 것으로서, 레이저 유도 초음파 검사 시스템을 제어하여 레이저 간섭계의 이득을 변화시키면서 최대 이득 순간을 적응적으로 찾아내고, 이 순간에 초음파 신호를 유도함으로써 높은 신호대의 잡음 비율을 갖는 진폭이 큰 초음파 신호의 획득이 가능하여 레이저 간섭계의 투과-반사광의 위치를 한 곳에 고정시키는 바이어스를 제어함으로써 스캐닝을 하면서 장시간 안정적으로 측정 대상체의 결함을 측정 및 검사할 수 있는 다이나믹 안정기와 초음파 발생 과정과 측정 과정에서 큰 변수로 작용하는 펄스 레이저 빔의 출력 세기와 간섭계의 이득에 대한 정보를 보다 효과적으로 추출하여 에러를 보정할 수 있는 레이저 유도 초음파 검사 시스템을 제공하기 위한 것으로, 그 기술적 구성은 펄스 레이저를 유도하되, 초음파 여기용 펄스 레이저와, 셔터와, 중성농도 필터와 빔 샘플러와, 제1, 2 미러 및 제1 집속렌즈로 구성되는 레이저 초음파 유도장치; 상기 레이저 초음파 유도장치의 초음파 신호를 측정하되, 연속 발진 레이저장치와, 편광자와, 제2 미러와, 반파장판과, 제1 편광 빔 가르개와, 1차 1/4 파장판과, 제2 집속렌즈와, 제2 편광 빔 가르개와, 2차 1/4 파장판과, 제3 집속렌즈와, 공초점 패브리-페롯 간섭계와, 압전소자(PZT)와, 제4 집속렌즈와, 중계렌즈와, 제1 고속/고이득 광센서 및 제2 고속/고이득 광센서로 구성되는 공초점 패브리-페롯 레이저 간섭계; 상기 공초점 패브리-페롯 레이저 간섭계를 통하여 입사되는 각각의 신호를 합치는 아날로그 덧셈기; 상기 아날로그 덧셈기에서 출력되는 신호와 제1 광센서에서 출력되는 신호 및 빔 샘플러에서 블록을 통하여 반사되어 제2 광센서에서 출력되는 신호를 획득하고, 획득된 신호의 처리 및 주변장치를 제어하는 중앙 제어장치; 상기 중앙 제어장치에 의해 제어가능하게 구비되는 1, 2차원 이송장치; 및 펄스 레이저 빔을 발사시키기 위한 고속 전압 증폭기인 고속 신호 변환기; 를 포함하여 이루어지는 레이저 유도 초음파 검사 시스템에 있어서, 상기 중앙 제어장치가 다이나믹 안정기와, 고주파 통과 필터와, 고속 A/D 변환기와, 트리거용 A/D 변환기와, 최대기울기 자동측정기와, 신호 처리장치와, 초음파 추출 신호기와, 에러 보정기와, 랜포트 및 모터 드라이버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 구성되는 것을 특징으로 한다.□관련 지식재산권10-2007-0116207 다중 레이저 표면파를 이용한 표면 결함 검사 장치 및 방법10-0642223-0000 레이저 유도 초음파 검사 시스템10-0817615-0000 물체의 결함을 측정하기 위한 레이저 유도 초음파 검사 장치 및 그 구현 방법10-0822680-0000 미세 다중결함 측정을 위한 레이저 초음파 검사 장치 및 방법10-0762502-0000 표면 결함의 깊이를 측정하기 위한 레이저-초음파 검사 장치 및 방법10-0788823-0000 표면 결함 정보 추출을 위한 레이저-초음파 검사 장치 및 방법