일반기술

다중 레이저 표면파를 이용한 표면 결함 검사 장치 및 방법

다중 레이저 표면파를 이용한 표면 결함 검사 장치 및 그 방법이 개시된다. 개시된 해당 기술은 다중 펄스 레이저 빔을 물체 표면에 조사하는 레이저 조사계, 다중 펄스 레이저 빔에 의해 발생된 다중 레이저 표면파가 전파되는 물체 표면에 측정용 레이저 빔을 조사하고, 물체 표면에서 산란된 레이저 빔을 집속하여 레이저 간섭 신호를 획득하는 레이저 간섭계, 레이저 조사계와 레이저 간섭계에서 조사되는 레이저 빔을 상기 물체의 표면 상에 스캔 이동시키는 이송부 및, 이송부의 이동을 제어하고, 집속된 레이저 빔을 디지털 전기 신호로 변환하여 정규화된 주파수 스펙트럼을 추출하고 추출된 주파수 스펙트럼에서 무결함 표면파 신호에 의한 최대 주파수계수를 갖는 주파수값에 대한 결함을 통과한 표면파 신호에 의한 두 번째 마루의 최대 주파수계수를 갖는 주파수값의 상대적인 감쇠 성분으로부터 결함 정보를 산출하는 신호 처리부를 포함한다. 다중 레이저 표면파를 이용하여 물체의 표면에 존재하는 미세한 표면 결함에 대한 위치 정보와 깊이 정보를 높은 분해능으로 제공할 수 있다.