일반기술

진공플라즈마 스퍼터링 장치

해당 기술은 냉중성자 유도관의 박막(thin film) 제조및 분광장치 분야에서 광범위하게 사용되어지는 중성자 거울, 단색기, 초거울(Super Mirrors)등의 중성자 광학부품을 개발하기 위한 스퍼터링 장치(sputtering apparatus)에 관한 것이다.; 해당 기술은, 마그네트론 스퍼터링 건 및/또는 트라이오드 스퍼터링 건들이 선택적으로 장착가능한 직선이송형(Inline) 진공 챔버; 상기 진공 챔버내에서 기판을 상기 기판 장입실로 부터 증착실과 기판 대기실측을 따라서 전,후로 이동시키는 이송 수단; 상기 기판들이 기판 장입실, 증착실과, 기판 대기실에 각각 정확하게 위치되도록 그 위치를 검출하는 검출수단;및 상기 기판들이 선택되어진 마그네트론 스퍼터링 건 및/또는 트라이오드 스퍼터링 건들에 의해서 증착이 이루어지도록 제어하는 콘트롤러;들을 포함한다. ; 해당 기술에 의하면, 하나의 진공 챔버내에서 트라이오드 스퍼터링과 마그네트론 스퍼터링을 선택적으로 실시할 수 있음으로써 박막 두께에 따른 박막 품질을 크게 향상시킬 수 있다. 그리고, 복수개의 기판을 동시에 인라인 방식으로 장착하고, 다수개의 타겟들을 구비함으로써 증착 작업의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.