일반기술

대량의 기판 장착 및 탈착 시스템을 이용한 양산형 박막증착 장치

해당 기술은 일반적인 박막코팅 분야에 광범위하게 사용되는 스파터링, evaporation 등 코팅관련 분야에 관한 것이다. 해당 기술은 다량의 대형기판을 한 번의 프로세스에 의하여 증착이 가능하므로 매 프로세스 때마다 진공을 깨서 outgassing을 위해 장시간이 소요되는 타 장치와 비교할 때 대량생산이 용이하다. 지속적으로 대량의 기판을 SLC에 장착하며 SUC로부터 기판을 탈착하는 이 시스템은 기존의 하나의 기판처리가 가능한 타 시스템에 비해 효율이 뛰어나다. 주 챔버의 진공을 파괴하지 않고 loading 및 unloading chamber만을 outgasing 하기 때문에 진공시간을 최소화할 수 있다. 해당 시스템은 대량의 기판을 코팅한 후 타겟건이 위치한 중앙챔버 내의 파티클 등을 자주 제거할 필요가 없는 ITO코팅 등의 단일막 또는 3-5층 정도의 박막 시스템 제조에 용이하다. □ 참고출원번호 : 2007-0100319