일반기술

에너지의 전기기계적 전환의 신 원리를 이용한 정전(electrostatic) 고속 선형 마이크로 모터

에너지의 전기기계적 전환의 신 원리를 이용한 정전(electrostatic) 고속 선형 마이크로 모터가 개발되었다. 동 모터의 작동 원리는 강유전적(ferroelectric) 표면, 특히 강유전체 필름 위에서, 얇은 꽃잎 형태의(두께 1-1.5 마이크론) 금속 필름의 가역적 정전기적 굴림(convertible electrostatic roll-on) 효과에 기반을 둔 것이다. 사용된 원칙은 고비의(high specific) 에너지 강도를 제공하며 (최대 0,33 J/m2) 마이크로 모터의 고속 작동을 가능하게 하므로 단계적 모드와 지속적 모드에서 작업할 수 있다. 동 마이크로 모터는 단 시간 내에 상당한 중량을 이동 시킬 수 있으며, 고 에너지 강도 및 이동의 정밀성이 (1 스텝은 1 나노미터에서 100 마이크론 까지) 뛰어나다. 다음과 같은 마이크로 모터의 특성들로 인해-이동 판 (슬라이더)의 반응 시간: 수십 마이크로 세컨드; -제어 압력: 수십 볼트; -공간 해상도: 최대 10 나노미터) 동 마이크로 모터를 고속 정밀 마이크로기계 공학적 장비들에서 광범위하게 사용할 수 있다