일반기술

마이크로 기계공학적 자이로스코프와 마이크로 기계공학적 가속도계

본 개발품은 “기로 옵티카”사가 개발한 제품이다. 이 회사는 입체 마이크로 기계공학 기술에 따라 마이크로 기계공학적 자이로스코프들을 개발하고 생산해온 최초의 러시아 회사들 중의 하나이다. 밀리미터 단위들 내의 센서의 규모는 마이크로 전자공학 구성 요소들의 규격에 필적된다. 센서들은 기계적인 충격의 작용에 대해 향상된 내구성과 강도를 (1회당 최대16000 g 및 주파 대역 최대2000 Hz의 광대역 일시적 진동) 소유하고 있으며, 다음과 같은 중간 급 정밀도 기구들의 틈새 시장을 장악하고 있다:자이로스코프용 시간당 5 도 수준의 제로 시그널 드리프트의 일시적 컴퍼넌트(casual component);가속도계용 0,3 mg 수준의 제로 시그널 드리프트의 일시적 컴퍼넌트.마이크로 기계공학적 자이로스코프와 마이크로 기계공학적 가속도계는, 이동식 기계적 부분의 현가장치 평면에 놓여 있을 뿐 아니라 이에 수직적인 평면에도 놓여 있는 민감도 축들을 가진 다양한 구조 양식들을 보유하고 있다. 이는 전기 기계적인 마이크로 조립품들의 평면적인 형태를 보존할 수 있게 해 준다.마이크로 기계 공학적 센서의 모든 구조들은, 이동식 기계적인 부분을 고주파 파동상태로 유도하는, 빗모양의 정전기적 구동 장치로 제어된다. 정전기적 구동 장치는 자동 모드로 작동하는 제너레이터로 제어된다. 절대 각속도 및 선형 가속도의 투영에 비례적인 전압치로서의 정보를 받아들이기 위해서는 이동식 및 고정형 기계 공학적 부분의 구조 요소들로 구성되는 용량 센서를 사용한다. 어떤 마이크로 기계공학적인 센서들이던지 간에 가용 시그널 제어, 수용 및 예비 처리는 LSI를 사용하여 수행된다.