일반기술
황 함유 가스 및 독성 물질 감지 센서
황 함유 가스 및 독성 물질 감지용 저항성 타입 가스 센서가 개발되었다. 센서 기반으로서는 다양한 불순물이 섞인 나노크리스탈 반도체 산화물을 사용했다. 소재는 분말형(졸-겔 공법) 및 막형(마그네트론 스푸터링, CVD, spin-coating )으로 합성되며, 180-250 m2/g의 고 비교 표면과 우수한 열 및 화학 안정성을 보유하고 있다.섞인 불순물들은(Pt, PdO, Fe2O3, NiO, CuO, MoO3, V2O5) 촉매 활성을 드러내었고, 그러한 방식으로 여러 가지의 가스 분자들에 대한 민감도를 향상시켰다. 나노 합성 소재의 민감도는 10 ppb에 달한다. 유황 함유 가스인 H2S 및 메르캅탄 감지 센서가 개발되었다. 감지 조건 최적화 연구가 진행되었다. 흡착제-예비 농축제(preconcentrator)를 소유한 센서 시스템은 가스 감지 한계를 현저히 향상 시킬 수 있게 해 준다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 초소형 센서 (I82)
- 보유기관
- 한국기술벤처재단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-03-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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