일반기술
MIS-구조 기반 가스 센서
- 광범위한 금속-절연체-반도체 (MIS-구조)기반, 수소, 중수소, 황화수소, 질소 이산화물, 에틸메르캅탄, 염소 및 암모니아 감지용 센서들이 개발되었다.- 감지기의 주요 요소는 Pd-Ta2O5-SiO2-Si 유형의 MIS-구조이며, 그 용량은 가스와의 상호작용에 따라 변화한다.- MIS-구조 제조 기술은 마이크로전자공학 기술(트랜지스터 제작)과 레이저 기술(박막 스프레잉)의 결합이다.- 가스유출 탐지용, 주변 환경 모니터링용의 다양한 변종형 기구가 제작되었다.- 감지 한계 최대 5 ppb의 감지한계와 고선택성을 가진 H2S 감지용 독창적인 가스분석기를 개발했다.- 민감도(최대0,1 ppb)에서 유명 유사 제품들을 능가하는, 폭발성 물질 판별용 가스분석기도 제작하였다.- NH3 센서는 생화학 및 의학 (유문 헬리코박터 감염발견)에서 성공적으로 사용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 초소형 센서 (I82)
- 보유기관
- 한국기술벤처재단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-03-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.