일반기술

광학식 수소 검지 재료용 산화 텅스텐 박막의 제조 방법

최근 석탄이나 석유와 같은 화석연료의 대량 소비로 인해 발생하는 온실효과가스의 배출량을 저감하기 위하여 수소연료전지와 같은 수소를 이용한 연구가 다방면에서 이루어지고 있다. 하지만 수소의 경우 폭발을 동반하는 가연성 가스이기 때문에 취급 시에는 상당한 주의가 필요한데 미량이더라도 누설된 수소가스를 높은 정밀도로 안전하게 검지할 수 있는 저렴한 범용형의 수소검지센서의 개발이 필요한 실정이었다. 하지만 기존의 센서의 경우 반도체 표면의 수소흡착에 의한 전기저항변화 등을 이용하여 검지하는 방법을 주로 이용하여 전기 접점으로 스파크가 발생해 수소가스가 폭발할 가능성이 있었다. 이에 해당 기술은 산화 텅스텐이 실온에서 수소가 함유된 기체에 접촉하면 광학적인 투과율이 감소한다는 성질을 이용하여 산화텅스텐이 막을 형성할 때 기판온도를 제어하여 산화 텅스텐의 결정성을 조절함으로써 우수한 성능의 수소검지재료를 제공하는데 성공하였다. 이로 인해 전기 접점 등으로 인한 발화원이 발생하지 않는 수소가스 검지 장치를 제작할 수 있게 되었다.