일반기술

유기 알루미늄 화합물 전구체 및 그를 이용한 고순도 알루미나 분리막의 제조방법

[구성]본 발명은 유기 알루미늄 화합물 전구체 및 액상으로 존재하여 다루기 쉽고도 증착 과정중에 리간드의 열분해로 인한 탄소오염이 없는, 알루미나 증착을 위한 유기 알루미늄 화합물 전구체로서 (베타-케토에스테르)-(알콕사이드)-알루미늄 화합물을 화학기상증착법을 사용하여 미세 기공구조를 갖는 고순도 알루미나 분리막을 제조하는 방법을 제공한다.1. 화학식....로 표시되는 유기 알루미늄 화합물 전구체;상기 식에서 R은 탄소수 1내지 6인 알킬기이고, R`는 탄소수 1내지 6인 알콕시이고, R는 탄소수 1내지 6인 알킬기이고, x는 1,2 또는 3이다.2. 제 1항에 있어서, 상기 베타-케토에스테츠가 메틸아세토아세테이트(MTAC), 에틸아세토아세테이트(ETAC), t-부톡시로 구성되는 군 중에서 선택되는 화합물 전구체3. 제 1항에 있어서, 상기 알콕사이드기가 메톡시, 에톡시, sio-프로폭시, 프로폭시, 부톡시, iso-부톡시 및 t-부톡시로 구성되는 군 중에서 선택되는 화합물 전구체.4. 화학식...로 표시되는 유기 알루미늄 화합물을 전구체로 사용하여 화착기상증학방법에 의해 알루미나 분리막을 제조하는 방법;상기 식에서 R은 탄소수 1내지 6인 알킬기이고, R`는 탄소수 1내지 6인 알콕시이고, R는 탄소수 1내지 6인 알킬기이고, x는 1,2 또는 3이다.5. 제 4항에 있어서, 상기 진구채를 50-135℃로 가열하여 전구체 증기를 발생시키고, 상기 발생된 전구체 증기를 280-440℃로 가열된 알루미나 기판에서 열분해시켜 상기 전구체를 알루미나 기판에 증착시키는 단계로 이루어지는 방법.6. 제 4항에 있어서, 상기 증착 단계가 10/(2)~10/(7)mmHg의 압력매시 수행되는 방법.