일반기술
나노와이어 자동 전사시스템 및 그의 구동방법
해당 기술의 나노와이어 자동 전사시스템은 나노와이어가 전사될 기판상에 점착제를 코팅하기 위한 점착제 코팅부, 기판상에 나노와이어를 전사하기 위한 나노와이어 전사부, 점착제 코팅부와 나노와이어 전사부 사이에 위치하여 공정 기판을 이송하기 위한 기판 이송부 및 점착제 코팅부, 나노와이어 전사부 및 기판 이송부를 제어하기 위한 시스템 제어부를 포함한다.해당 기술은 나노와이어 자동 전사시스템을 제공하여 제조된 나노와이어를 점착제가 코팅된 타 기판으로 전사시, 동일한 압력을 가하여 전사공정을 수행할 수 있어 나노와이어의 소실을 방지한다. 또한, 정렬의 오차를 최소화하여 공정의 재연성 및 공정 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-04-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020060100246