일반기술
선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치(1)
해당 기술은 탐침 탄력을 이용하여 탐침부가 기판에 접촉하는 힘에 따라 탐침부와 기판간의 접촉면을 조절함으로써, 다양한 선폭의 패턴을 형성할 수 있는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치를 제공함에 목적이 있다. 해당 기술에따른 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치는 잉크를 보관하기 위한 제1잉크 보관부; 상기 제1잉크 보관부로부터 유입된 잉크를 기판에 전사하기 위한 홀과 홀을 개폐하기 위한 탐침으로 이루어진 탐침부; 상기 제1잉크 보관부 하부에 상기 탐침부를 고정하기 위한 탐침 지지부; 및 상기 탐침부의 위치와 가공상태를 확인하기 위한 CCD 카메라로 이루어진 광학부를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-04-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020070053723