일반기술
마이크로 가스센서 어레이 및 그 제조방법
해당 기술은 마이크로 가스 센서 어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 한 개의 기판상에 가스와 접촉하여 전기 전도도가 변화하는 복수 개의 감지물질과, 감지물질의 전기 전도도의 변화를 외부로 전달하는 복수 개의 감지 전극 패턴을 형성하고, 복수 개의 감지물질을 동시에 가열하도록 가열 전극 패턴을 형성하며, 감지 전극 패턴이 공통 접지되도록 접지 전극 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.해당 기술에의하면, 가열 전극 패턴이 복수 개의 감지물질을 동시에 가열하기 때문에 소비전력의 소모를 줄일 수 있고, 복수 개의 감지 전극 패턴을 공통 접지시킴으로써 칩의 부피를 줄일 수 있으며, 동종 가스 및 다종 가스를 여러 개의 가스 센서를 통해 복수로 감지할 수 있어 가스 측정의 신뢰도를 높일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-04-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020060133801