일반기술
무전해도금법을 이용한 프로브카드용 탐침구조물 제조 방법
해당 기술은 무전해도금법을 이용한 프로브카드용 탐침구조물 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 고집적 반도체 칩 또는 디스플레이 회로검사에 사용되는 MEMS 프로브카드용 고경도 탐침구조물의 제조 방법에 관한 것이다.해당 기술의 무전해도금법을 이용한 프로브카드용 탐침구조물 제조 방법은 탐침구조물을 형성하는 제1단계; 및 형성한 상기 탐침구조물을 무전해도금하는 제2단계를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-04-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020060095970