일반기술

촉각센서 어레이 및 그 제조방법

해당 기술에따른 촉각센서 어레이 제조방법은 기판의 상부에 고분자층을 형성하는 단계(S1), 상기 고분자층의 상부에 변형 검출기 및 제1금속배선을 형성하는 단계(S2), 상기 고분자층의 전면에 감광막을 형성하는 단계(S3), 상기 감광막을 패터닝하여 상기 변형 검출기의 상부에 콘택홀을 형성하는 단계(S4), 상기 감광막의 상부에 제2금속배선을 형성하는 단계(S5), 상기 감광막 상부의 끝단에 지지블록을 형성하는 단계(S6), 상기 지지블록이 형성된 영역을 제외한 상기 감광막 상부에 보호블록을 형성하는 단계(S7), 상기 기판으로부터 상기 고분자층을 분리하는 단계(S8) 및 상기 고분자층의 하부에 하중블록을 형성하는 단계(S9)를 포함한다. 따라서, 해당 기술은 고분자층의 상부에 촉각센서 어레이 및 금속배선을 동시에 형성함으로써, 공정 수율의 향상 및 공정 비용의 절감 효과가 있으며, 각종 산업분야에 적용이 용이하여 가상환경 구현 기술에 중요한 촉각제시 기술에 유효하게 적용 및 채택할 수 있는 이점이 있다.