일반기술
화합물 반도체의 선택적 식각을 이용한 마이크로렌즈 및 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조 방법
화합물 반도체를 선택적으로 제거하여 형성하는 마이크로렌즈의 제조 및 마이크로렌즈가 집적된 광전소자를 제조하는 방법이 개시된다. 마이크로렌즈를 형성하기 위해 화합물 반도체는 패터닝되고, 측면 부위는 제거되어 대략 반구형의 렌즈로 형성된다. 화합물 반도체의 측면 부위의 제거를 위해 디지털 합금 방법이 사용된다. 특히, 습식식각을 이용하여 화합물 반도체의 측면부위는 제거된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 화합물반도체 (B63)
- 보유기관
- 광주과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020070099296