일반기술

풀-업형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법

□ 기술개요해당 기술은 각종 통신 시스템에서 사용되는 반도체 스위치 제작에 관한 것으로서, 하부에서 상부로 동작하는 PULL-UP 형태의 캔틸레버를 사용한 PULL-UP 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법에 관한 것이다. 해당 기술의 PULL-UP 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치는 높은 단락/개방 격리 특성을 가지며, 낮은 구동전압으로 인해 통신 시스템 내부에 구동 전압을 승압하기 위한 회로가 불필요하므로 시스템의 크기를 소형화가 가능하며, 구동시 캔틸레버를 구성하는 금속의 변형이 없으므로 장시간 사용 후 특성 변화가 거의 없으며, 반영구적으로 사용이 가능한 효과가 있다. 해당 기술은 기존기술에 PULL-DOWN 형태의 캔틸레버를 PULL-UP 구조로 하여 낮은 직류 전압으로 캔틸레버와 전송 선로를 단락시키고, 캔틸레버를 두꺼운 금속층으로 구성하여 캔틸레버의 무게에 의한 중력을 이용하여 개방하는 구조의 PULL-UP 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치제작방법을 제공한다. □ 기술특징규소 기판을 완전히 식각하는 제 1 단계 규소 기판으로의 신호 손실을 막기 위한 산화막 성장 후 도금 방법을 이용하여 식각된 부분을 금으로 채우는 제 2 단계 규소 기판 상하부에 측정 패드, 직류 전압 인가용 패드 및 캔틸레버의 접촉패드를 형성하는 제 3 단계 캔틸레버 구동용 정전기력 발생을 위한 질화규소 적층의 제 4 단계 도금 방법을 이용하여 하부에서 상부로 동작하는 pull-up 형태의 캔틸레버를 제작하는 제 5 단계 캔틸레버를 지지하고 캔틸레버와 접촉 패드와의 일정한 간격을 유지하기 위해 유리를 식각하는 제 6 단계 규소 기판과 유리를 양극 접합 방법을 이용하여 접합하는 제 7 단계를 포함한 pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법.