일반기술

PLZT계 경사 기능 압전 액츄에이터 및 그 제조 방법

초록 정보 <목적>이 발명은 프린터 헤드, 압전부저, 스피커 등에 변환 소자로 사용되는 압전 엑츄에이터로 경사기능을 부여한 것이다. <구성>압전 액츄에이터는 Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-(x/4)O3의 일반조성식을 가진 aPbO+ bLa2O3+cZrO2+dTiO2 (0.89≤a≤0.94, 0.06≤b≤0.11, 0.55≤c≤0.70, 0.30≤d≤0.45)계 압전 세라믹 재료인 PLZT를 사용하고 서로 다른 두 조성의 PLZT 판간에 경계면이 경사적으로 존재하는 것이다. 그 제조방법은 압축성형에 의해 서로 다른 조성의 압전 세라믹(1)(2)을 적층하고, 고온 소결을 통해 두 층의 접합부에 열적확산에 의한 경사 조성층(3)을 형성하고, 압전 세라믹층의 표면에 전극(4)(4')을 형성시키는 공정으로 구성되어 있다.1. 서로 다른 조성을 갖는 압전 셰라믹 적층체의 접합부에 두께방향을 따라 완만하게 조성이 변화하는 경사 조성층이 형성되어 이루어지는 경사기능 압전 액츄에이터에 있어서, 상기 압전 세라믹 적층체는 PLZT계의 조성을 갖는 것을 특징으로 하는 PLZT계 경사기능 압전 액츄에이터2. 제 1항에 있어서, PLZT계의 조성은 Pb(1-x)La(x)(Zr(y)Ti(1-y)(1-x/4)O3의 일반조성식에 의거한 aPbO+bLa2O3+cZrO2+dTiO2로서 0.89≤a≤0.94, 0.06≤b≤0.11, 0.55≤c≤0.70, 0.30≤d≤0.45인 것을 특징으로 하는 PLZT계 경사기능 압전 액츄에이터.3. PbO, La2O3, ZrO2와 TiO2의 혼합, 분쇄, 건조에 이은 하소공정을 거쳐 얻어진 하소분말을 사용하여 서로 조성을 달리하는 압전 세라믹 적층계를 압축성형한 다음, 이 성형체를 1200~~1325℃의 온도에서 2시간 가량 소결하여 적층체의 접합부에 열적확산에 의한 경사조성층을 형성한 후, 소결체의 양면에 전극을 형성함을 특징으로 하는 PLZT계 경사기능 압전 액츄에이터의 제조방법.