일반기술

디실라알칸 화합물의 열분해에 의한 베타형 탄화규소 미세 분말의 제조 방법

새로운 원로계로서 직접법에 의해 경제적이며 대량생산이 가능한 디실라알칸 계열의 메틸클로로실란알칸들 그리고 메틸클로로알칸을 환원하여 합성하는 메틸실라알칼들을 출발물질로하여 이들을 750-1,600도C의 온도범위에서 열부해 반응시킬 때 구형의 고순도 베타 탄화규소 미세분말을 반응관 벽에 부착시킴없이 높은 수득률소서 제조하는 것이다.메틸실라알칸들을 단독을 또는 두가지 이상 혼합하여 운반기체를 사용하여 열분해 시키는 것으로 구성된다. 원료가 실라알칸이며 테트라메틸실란이나 다른 규소 화합물을 사용하는 방법에 비하여 규소에 대한 탄소의 비중이 과량이 아니므로 제품에 과량의 탄소가 남아있지 않아 고순도의 탄화규소 미세분말을 얻을 수 있다.

기술정보

기술분류
재료 > 기타 세라믹재료
보유기관
한국과학기술연구원
기술유형
일반기술
등록일
2001-01-17
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

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