일반기술
회절격자 제작을 위한 습식 식각장치
해당 기술은 회절격자에 상응하는 형태로 포토레지스트가 패터닝된 웨이퍼를 식각하여 웨이퍼에 회절격자를 제작하는 습식 식각장치에 관한 것이다. 해당 기술에 따르면, 식각용액이 투입되는 용기; 상기 식각용액에 잠기도록 용기 내에 구비되고, 상기 웨이퍼가 고정되는 스테이지; 상기 스테이지에 고정된 웨이퍼의 표면에 대하여 레이저빔을 입사시키는 광원; 식각이 진행되는 상기 웨이퍼의 표면에서 회절되는 영차 회절빔과 고차 회절빔의 강도를 측정하도록 공간적으로 이격되게 설치되는 한 쌍의 디텍터; 및 상기 디텍터의 측정치를 이용해 레이저빔의 회절효율을 연산하여 식각 정도를 추정하는 마이컴;을 포함하는 습식 식각장치가 개시된다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020050022003