일반기술
평면 광도파로 소자의 제조방법
해당 기술의 평면 광도파로 소자는, 평면기판; 광도파로 패턴에 상응하는 부분의 기판 표면으로부터 내부로 연장형성된 소정 두께의 하부 클래드층; 광도파로 패턴의 단부로부터 연장되는 광섬유 가이드홈 패턴에 상응하는 부분의 기판 표면에 형성된 광섬유 가이드홈; 광도파로 패턴에 상응하여 상기 하부 클래드층 상에 형성된 코어층; 및 상기 코어층 상에 형성된 상부 클래드층;을 포함한다. 해당 기술의 평면 광도파로 소자의 제조방법은, 광도파로 패턴이 형성될 부분의 평면기판 표면으로부터 내부로 소정 두께의 다공성 구조층을 형성하는 단계; 광도파로 패턴이 형성될 부분의 다공성 구조층을 하부 클래드층으로 형성하는 단계; 광도파로 패턴에 상응하는 코어층을 상기 하부 클래드층 상에 형성하는 단계; 상기 코어층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계;를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 광전자
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2009-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
발명명칭 정보 없음
출원번호 1020040059334