일반기술

광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치 및 광학창 교체방법

광학창 교체장치가 구비된 광화학 기상증착장치 및 광학창 교체방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로는 광화학 기상증착(photo-chemical vapor deposition; photo-CVD) 장치의 반응실 내에서 광화학기상증착 반응시 반응가스의 분해에 의해 생성된 물질 또는 증착에 사용된 물질의 부착에 의해 흐려진 광학창(optical window)을 반응실의 내부를 대기에 노출시키지 않으면서 세정된 광학창으로 교체할 수 있는 광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치 및 광학창 교체장치를 사용하여 광화학기상증착장치의 광학창을 교체하는 방법에 관한 것이다.취기구, 배기구, 기판 가열지지대 및 가열히터가 구비되고 상단에 광학구멍이 형성되며 증착반응을 수행하기 위한 반응실과 반응실의 상부에 형성되고, 취기구 및 배기구와 상단에 광 통과구가 구비되며 광학창 이송수단에의해 이송된 광학창의 탈장착이 수행되는 광학창 고정실과 광학창 고정실의 광 통과구 상부에 부설되어 광화학기상증착반응을 위해 필요한 에너지를 지닌 광을 광 통과구에 장착된 뷰 포트를 통해 반응실 내부로 조사하기 위한 광원과 광학창 고정실과 횡방향으로 일체로 연장 형성되고 취기구 및 배기구와 하단에 광학창 교체를 위한 개폐구가구비되며 광학창 이송수단에 의해 이송된 흐려진 광학창과 세정된 광학창의 교체가 수행되는 광학창 교체실과 광학창 고정실과 광학창 교체실의 사이에 설치되어 광학창 고정실과 광학창 교체실을 연통 또는 격리시키기 위한 개폐수단과 광학창이 장착되어 광학창 교체실과 광학창 고정실을 왕복하면서 광학창을 이송하며 반응실의 광학구멍 상에 광학창을 탈장착하기 위한 광학창 이송수단 및 광학창 이송수단과 연결되어 광학창 이송수단이 광학창 교체실과 광학창 고정실 내에서 왕복하도록 구동력을 제공하기 위한 구동수단으로 구성된다.