일반기술

고주파 연자성 다층박막의 제조

고주파용 연자성 다층박막의 제조방법에 대하여 개시된다. 기판 상부에 Fe 및 CoNbZr과 같은 미세결정구조를 갖는 박막을 교대로 적층시키는 다층박막 제조 방법에 있어서, 상기 다층박막 제조시 분위기 가스로 수소 및 아르곤의 혼합가스을 사용하여 연자기적 특성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 고주파용 연자성 다층박막의 제조 방법을 제공하여 높은 포화자속밀도를 지니며 고밀도의 기록 및 재생, 높은 데이터 전송에 대응하기 위하여 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지할 수 있는 자기헤드, 센서, 변압기 또는 인덕터 재료로서, Fe계 다층 박막의 미세구조를 보다 바람직하게 조절할 수 있는 방법을 제공할 수 있다.본 기술은 높은 포화자속밀도를 지니며 고밀도의 기록 및 재생, 높은 데이터 전송에 대응하기 위하여 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지할 수 있는 자기헤드, 센서, 변압기 또는 인덕터 재료로서, Fe계 박막의 미세구조를 보다 바람직하게 조절할 수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.