일반기술
구리의 화학 증착에 유용한 유기 구리 전구체
본 기술은 구리의 화학증착에 유용한 유기구리 전구체에 관한 것이다.구리는 비정항값이 작을 뿐만 아니라 전자 이동 문제도 상당히 개선할 수 있고 녹는점 또한 알루미늄 보다 높기 때문에 차세대 금속 배선용으로 매우 적합한 금속이다.본 기술은 구리의 저온 화학 증착에 특히 적합하면서도 불순물이 없으며 우수한 층덮힘 및 개구부 충전 특성을 가진 구리 박막을 형성할 수 있는 액상 유기 구리 전구체를 제공하는 데 목적이 있다본 기술에 따르면 유기 구리 전구체는 상온에서 열안정성이 우수하고, 액체 상태에 있으면서 기화가 잘되는 특징이 있으므로 구리의 화학증착에 유용하게 사용할 수 있고, 증착 결과 또는 기존의구리 전구체들 보다는 좋은 박막 특성(낮은 비저항, 우선 방위)과 층덮힘 및 개구부 충전효과를 나타낼 수 있다
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 부방식·표면처리 기술
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-05-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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