일반기술

알루미늄박막 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미툼 하이드라이드의 점도저하방법

본 기술은 알루미늄 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride, DMAH)의 점도 저하방법에 관한 것이다.본 기술은 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 3차 아민을 첨가함으로써 디메틸 알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저히 저하시킨다. 본 기술에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(meta.-organic precursor)로 사용될 경우, 버블러형 전구체 이송시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송시스템에의 적용이 용이하고, 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다본 기술은 반도체 공정용 전구체 DMAH 액체의 점도를 첨가제를 사용하여 혁신적으로 낮춘 기술로써 DMAH를 이용한 AI 박막 증착 연구 및 향후 DMAH 의 대량 생산라인에의 도입시 반드시 적용가능하