일반기술

루테늄/루테늄 산화물 박막 형성 방법

유기금속화학증착법을 이용한 Ru/RuO2 박막의 형성방법에 관한 기술이다. 종래의 Ru/Ru2 박막제조에 사용되는 전구체로는 Ru(tmhd)3 (tmhd=2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이트) 및 Ru(AcAc)3 (AcAc=아세틸아세토네이트)가 공지되어 있으나, 이들 전구체는 상온에서 고체형태이며, 용매에 대한 용해도도 낮고, 용매와 반응을 일으킬 수 있어 순간기화기를 이용하는 화학증착법에는 사용하기 어렵다는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하고자, 용매에 대해 높은 용해도를 가져 순간기화기를 통해 쉽게 Ru/RuO2 박막을 제조할 수 있는 액상 전구체를 이용함으로써 높은 증착속도로 고순도의 Ru 또는 RuO2 박막 또는 이들의 혼합박막을 형성하는 방법을 제공한다. Ru(OD)3 (OD: 옥탄디오네이트)를 전구체로서 사용하여 Ru/RuO2 박막을 제조한다. 상기의 Ru(OD)3는 상온에서 액상형태로 알콜성 용매에 높은 용해도를 가져 전구체 용액을 제조하기가 매우 용이하므로 전구체를 안정적으로 이송할 수 있으며, 분해온도와 기화온도간의 차이가 있어 박막제조에 매우 유리하다. Ru(OD)3는 시판되는 것을 구입하여 사용할 수 있으며, 증착공정에서 용매로 사용되는 알콜은 탄소함량이 적어 생성되는 박막내로 유입되는 탄소의 양을 극소화시킬 수 있다. Ru(OD)3를 전구체로 사용하여 유기금속화학증착법에 의해 Ru/RuO2 박막을 증착시키면, 순간기화기에 의해 전구체 증기를 생성시킴으로써, 우수한 특성을 가진 고순도의 박막을 높은 증착속도로 기판상에 형성시킬 수 있다.