일반기술

전기영동법과 사진식각을 이용한 디스플레이의 형광체 코팅방법

형광체 코팅기술에는 슬러리법(slurry), 전자사진(electrophotographic)법, 새틀링(settling)법, 최근에 각광받는 전기영동법(EPD:Electrophoretic Deposition)이 있는데, 기판(전극)과의 접착력 향상을 위해 니트로셀룰로스, 아크릴 수지 등을 사용한다. 허나 이들은 high-information content display나 FED에서의 한계점을 갖는다. 따라서 전기영동법과 UV사진 식각 기술을 결합하여 간편하고 신뢰성 있는 형광체 코팅막을 만들어 형광체와 기판의 접착력을 크게 향상시켜 안정성을 높이고, 포토레지스트를 사용하여 사진식각에 의해 풀 칼라(full color)구현을 위한 RGB형광체 패턴을 만들 수 있는 평판 디스플레이의 형광체 코팅방법을 제공한다. 디스플레이용 형광체의 코팅방법으로서 다음과 같은 단계를 거친다.유리기판 위에 전도층형성 단계, 형광체가 분산된 형광체 분산용액을 이용하여 전기영동법에 의해 전도층 위에 형광체 코팅하는 단계, 기판 상부면에 UV경화층 형성 및 UV조사시켜 접착층 형성단계. 또한 평판 디스플레이용 형광체 코팅방법은 다음과 같은 단계를 거친다.1) 유리기판위에 전도층 형성하는 단계.2) 전도층 위에 제1포토레지스트층을 형성하고 제1패터닝하여 다수의 제1윈도우 형성단계3) 전기영동법에 의해 상기 다수 제1윈도우를 통해 전도층 위에 다수의 제1형광체 패턴셀 형성 단계4) 제1형광체 패턴셀을 포함한 기판 상부면에 제1UV경화층 형성 및 제1접착층 형성.5) 제2형광체 패턴셀 형성 및 제2접착층 형성.6) 제3형광체 패턴셀 형성 및 제3접착층 형성.