일반기술

적층식 박막형 전지를 구비하는 전기 및 전기소자 및 그 제작방법

본 기술은 반도체 공정을 이용하여 자체의 전력공급원으로써 박막형 전지를 가지는 전기 및 전자소자를 제작하는 방법에 관한 것이다.기존의 전기 및 전기소자에 대한 전력공급원으로 사용되는 박막형 전지는 비록 그 자체의 크기가 작더라도 어떠한 소자와 동일한 평면 또는 소자와 수평적으로 배치될 때에는 기억소자와 박막전지 사이에 연결선이 필요하며, 따라서 박막전지가 차지하는 실제 유효공간 및 소자의 전체적인 크기가 상당히 커짐으로써, 소자의 집적화에 제한을 가져올 수 있다는 문제가 있다.반면, 본 기술에서는 박막형 전지를 소자 위에 적층식으로 형성함으로써, 소자가 차지하는 면적을 극소화하여 고도의 집적화를 이룰 수 있다.본 기술에 의한 전기 및 전자소자는 박막형 전지를 구비하는 전기 또는 전자소자에 있어서, 박막형 전지가 소자의 상단면 위에서 소자와 접하여 적층식으로 형성되도록 구성되어 있다.본 기술에 의한 전기 및 전자소자 제작방법은 반도체 기판상에 위치하는 전기 또는 전기소자의 상단면 위에 부도체를 증착하여 소자 주위에 인캡슐레이션막을 형성하는 단계, 포토레지스터 증착 및 선택적 식각공정을 통하여 소자의 전극을 덮고 있는 인캡슐레이션막 부분을 제거하여 전극을 노출시키는 단계, 식각된 인캡슐레이션막 부분에 전도성물질을 증착함으로써, 소자 전극을 인캡슐레이션막의 외부표면까지 연장하는 단계 및 인캡슐레이션막 및 전극으로 이루어진 소자의 상단면 위에 박막전지를 형성하는 단계로 이루어져 있다.이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 전기 또는 전기소자의 전력공급원으로 사용되는 박막형 전지를 소자의 상부표면 상에 적층식으로 제작하여, 기판등에서 전지가 차지하는 공간을 제거함으로써, 소자가 차지하는 공간이 극소화되고, 소자의 집적도를 높일 수 있다. 또한, MEMS 소자와 같은 마이크로닉 소자의 초소형 전력공급계로 이용될 수도 있다.