일반기술

진공챔버용 온도센서 설정방법

본 기술은 진공 및 고온환경을 만들어 부품들을 구워내는(Bake-out) 챔버(Chamber)의 내부온도를 조절하는 진공챔버용 온도센서 설정방법에 관한 것이다. 진공 및 고온환경을 제공하는 열진공 챔버는 전기히터를 챔버 내부에 설치하고 이를 이용하여 진공 챔버의 내부온도룰 상승시키게 된다. 그러나 진공챔버 내에서는 유체가 존재하지 않으므로 대류현상이 없이 전도 및 복사에 의해서만 열이 전달되므로 진공챔버의 내부온도를 제어하기 위한 대표온도를 설정하는데 어려움이 따르게 된다. 기존의 방식은 이러한 문제점들을 보안하였지만 슈라우드나 베이스플레이트의 설치에 따른 구조적 복잡함과 간접가열방식에 따른 고가의 히터를 사용해야 하는 문제점을 안고 있었다. 본 기술은 열진공 챔버에서, 챔버 내측에 저가의 전기히터를 직접 사용하면서도 대표온도 설정이 가능토록 하여 열진공챔버의 내부온도 조절이 가능하도록 한 것이다.본 기술은 열진공 챔버의 내부설정온도에서 열진공 챔버의 히터 위쪽 중심부에 설치된 제2온도센서로 감지된 온도를 감산하고 상기 감산된 값에 열진공 챔버의 히터 전방에 설치된 제1온도센서의 전단계 온도를 가산한 값으로 제1온도센서의 셋팅값을 변경시켜 주도록 함으로써 이루어진다. 이러한 복사열전달을 이용한 제어용 온도센서 설정방법으로 대기압에서 작동하는 열주기챔버 등에서 흔히 사용하듯이 단속적으로 히터를 챔버내에 설치하고도 진공챔버내에서 온도를 쉽게 제어할 수 있으며, 온도조절은 저가용 전기히터를 사용하는 열진공 챔버를 제작할수 있다.