일반기술

테이블 리프트를 이용한 열진공 챔버용 위성작업대

본 기술은 테이블 리프트를 이용한 열진공 챔버용 위성작업대에 관한 것이다. 기존의 열진공 챔버는 도어개방 방식과 위성체의 지지 이송방식에 따라 크게 도어 분리식 열진공 챔버와 도어 부착식 열진공 챔버로 구분된다. 도어 분리식 열진공 챔버는 챔버와 도어가 완전히 분리된 형태이며 도어 부착식 열진공 챔버는 내부에 레일을 설치하여 이에 따라 이동되는 평면지지대를 설치한다. 그러나 도어 분리식 열진공 챔버를 사용할 경우 위성체에 관련된 각종 작업 등이 용이하다는 장점이 있지만 위성체의 하중에 따른 지지대의 도어 끝단에서 과도한 모멘트(Moment)가 발생할 가능성이 크고 위성체 하중이 큰 것을 무리하게 사용할 경우 위성체 지지대가 붕괴할 가능성도 배제할 수 없다. 또한 도어 부착식 열진공 챔버는 도어 분리식 열진공 챔버의 단점을 해소시킬 수 있지만 위성체에 관련된 작업이 불편하고, 챔버 내부로 작업자의 출입이 불가피할 때는 챔버 내부가 오염되는 문제점이 있게 된다. 본 기술은 이러한 문제점을 극복하기 위해 열진공 챔버의 도어 개방시 개방된 도어와 챔버의 바닥면 레일 내측에 테이블 리프트가 설치된다.본 기술은 테이블 리프트의 사용으로 위성체를 챔버 내부로 하부에서 지지하게 되고, 테이블 리프트는 짧은 길이와 긴 길이로 구성되어 상판의 높이를 조절한다. 높이 조절 수단은 실린더와 높이 조절대, X자로 결합된 지지봉으로 이루어진다. 여기서 실린더는 AC서브모터 또는 DC모터를 이용하여 실험실 내부오염을 줄이는 효과를 가져온다. 따라서 테이블 리프트의 사용으로 카운터 모멘트의 필요성을 제거하여 도어 후방의 고하중 구조물을 경량화 할 수 있고 도어의 조정이 용이할 뿐만아니라 도어의 운전시 사용되는 전기모터의 용량도 줄일 수 있게 된다. 이럼으로써 모터 제작비 및 챔버 사용시의 운영비도 절감되는 효과를 가져온다. 또한 테이블 리프트가 위성체 지지대를 받혀줌으로써 위성체의 이송시 안정성이 확보되고, 위성체 지지대의 모멘트에 의한 구조상의 변형을 최소화시켜 고진공 상태의 기밀을 유지시켜주며, 작업자에게 위성체 관련 작업을 챔버 외부에서 수행케함으로써 충분한 작업공간을 확보할 수 있게 해준다. 결과적으로 본 기술은 하중이 큰 구조물을 이송시킬 때 유용하게 사용될 수 있다.