일반기술
레이저 MBE 시스템용 핵심부품 제작기술
본 기술은 레이저 MBE(Molecular-beam Epitaxy) 시스템용 핵심부품 제작 기술에 관한 것이다.본 기술은 엑시머 레이저, 분석 챔버, 성장 챔버 및 제어부로 구성된 Laser MBE System 의 핵심기술인 Sample Holder 자동제어, Target Holder 자동제어, Shutter 자동제어 및 고온 운영기술을 제공한다.본 기술은 레이저 MBE 시스템 설계 및 제작, 제어기술 및 고품위 인공 초격자 박막 성장기술을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 레이저 광학(R12)
- 보유기관
- 한국전자통신연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-05-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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