일반기술

자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

본 기술은 파장이 다른 두 개의 레이저광을 광섬유 파장분할 다중기를 통하여 결합한 후 이를 물질의 표면에 렌즈를 사용하여 집중시키고 반사되어 되돌아 나오는 빛의 양 차이를 이용하여 물질의 미세 표면구조를 측정하는 장치에 관한 것이다.기존의 물질 표면구조 측정장치에 이용되는 자동 거리 유지장치는 레이저광의 초점을 유지시키기 위한 위상 측정장치 및 광분리기 등과 같은 광학계가 필요하며, 특히 여러 개의 렌즈가 사용되므로 조그마한 외부 충격에도 민감하게 반응하는 문제점이 있었다.따라서, 본 기술은 파장이 다른 두 개의 레이저광을 광섬유 파장분할 다중기를 통하여 결합한 후 이를 물질의 표면에 렌즈를 사용하여 집중시키고 반사되어 되돌아 나오는 빛의 양 차이를 이용하여 물질의 미세 표면구조를 측정함으로써, 위상 측정장치 및 광분리기 등과 같은 광학계가 사용되지 않아 안정된 구조를 가지며 구조가 간단하여 외부 충격에 매우 강한 물질 표면구조 측정장치를 제공하고자 한다.본 기술에 의한 물질 표면구조 측정장치는 서로 다른 파장을 갖는 제 1 및 제 2광원을 하나의 전송로에 다중 유도하는 파장분할 다중화수단과, 다중 유도된 제 1 및 제 2광원을 특정 물질의 표면방향(Z축 방향)으로 집중시키는 집광수단과, 물질 표면이 제 1광원의 광웨이스트와 제 2광원의 광웨이스트 사이의 소정 위치를 유지하도록 제어하는 서보수단과, 물질 표면을 X축 및 Y축 방향으로 측정하는 스캔수단과, 서보수단에 의한 위치 제어값을 물질 표면의 Z축 좌표로 입력받고 스캔수단에 의하여 측정된 물질 표면의 X축 및 Y축 좌표를 입력받아 물질 표면구조를 3차원 정보로 가공하는 이미지 처리수단을 포함한다.이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 기존 기술의 필수 구성 요소인 위상 측정장치 및 광분리기 등과 같은 광학계가 사용되지 않아 안정된 구조를 가지며 간단하여 외부 충격에 매우 강하며, 이로서 대량생산이 가능한 이점이 있다.