일반기술

광배선 회로소자

본 기술은 간단한 공정으로 설치된 광학적 배선을 통하여 칩들이 전기적으로 서로 연결되는 광배선 회로소자에 관한 것이다.기존의 광배선 회로소자는 식각면에 존재하는 결함에 의해 광배선 회로소자의 신뢰성 및 특성이 나빠지고, GaAs 표면방출광원과 GaAs 광검출기를 제작하기 위해 2회 내지 3회의 에피텍셜 성장 공정이 요구되어 제조공정이 복잡하기 때문에 생산수율이 낮고 소자의 성능이 떨어질 우려가 많고, 실리콘 기판과 홀로그램 광기판 사이의 광정렬이 매우 어려울 뿐만 아니라 홀로그램을 이용하기 때문에 그 구조가 복잡하다는 문제점이 있다.따라서, 본 기술은 간단한 제조공정을 통해 구현할 수 있으며, 소자의 신뢰성도 향상시킬 수 있는 광배선 회로소자를 제공하고자 한다.본 기술에 의한 광배선 회로소자는 실리콘 기판과, 실리콘 기판 윗면에 설치되는 제1 실리콘칩과, 실리콘 기판 윗면에 설치되며 제1 실리콘칩으로부터 전기신호를 입력받아 실리콘 기판에 의해 흡수되지 않는 광신호를 아랫방향으로 출력하는 광방출 장치와, 실리콘 기판을 통과한 광신호를 입력받아 이를 수평방향으로 전파시키다가 상부로 일부 광을 분기시키도록 실리콘 기판 아랫면에 설치되는 광판과, 실리콘 기판 윗면에 설치되어 광판에서 상부로 분기되어 나온 광신호를 감지하여 이를 전기적 신호로 변환하여 출력하는 광검출기와, 실리콘 기판 윗면에 설치되어 광검출기에서 출력되는 전기적 신호를 입력받는 제2 실리콘칩을 구비한다.이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 광통로를 구비할 경우에는 실리콘에 의해 흡수되는 파장 범위를 가지는 광을 광원으로 이용할 수 있으며, 이 경우 광검출기를 실리콘 반도체로 구성하여도 무방하므로 제조 공정이 간단해 진다. 또한, 출력광이 아랫방향이 되도록 광방출 장치를 설치하고, 광판을 실리콘 기판의 하부에 설치함으로써 광배선 구조를 간단하게 형성시킬 수 있다. 그리고, 수직 또는 광배선이 용이하여 다칩모듈의 광배선 연결 및 보드-보드 간의 광배선 연결에 적합하다.