일반기술

멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

기존에는 조향각과 경사각을 기계적으로 측정하는 방법 중에 먼저 조향각은 포텐쇼미터의 원리를 이용하여 회전각을 가변저항으로 감지하여 각도로 환산하여 사용한다. 그러나 포텐쇼미터의 크기를 작게 하기 어렵기 때문에 경사에 따라 기울어진 추의 위치를 포토센서로 감지하여 이를 각도로 환산하여 사용하지만 이 포토센서는 작은 경사각의 측정은 가능하지만 큰 경사각에 대한 측정은 못하게 되는 문제점이 있다. 이에 본 기술은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법에 관한 것으로 특히 경사각 각도에 따라 원형채널에 위치한 수은이 중력으로 인해 아래로 굴러가면 전류가 금속전극으로부터 수은을 통해 다른 금속전극으로 나갈 때 경사각에 따라 두 전극의 길이가 달라져 가변저항이 되고 이 가변저항의 변화로 경사각의 측정을 가능하게 한다본 기술은 멤스(MEMS)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법으로 유리기판 위에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하고 리가(LIGA) 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA(polymethylmethacrylate)) 감광재로 둥근 채널로 형성한다. 이후 크롬웰(Chromel)전극이 수직 이륙된 유리기판과 둥근 채널로 형성된 PMMA를 조립한 후 둥근 채널 속에 수은방울을 넣고 크롬웰 전극 유리기판을 접합한다. 이후 수은이 중력의 영향으로 PMMA 채널을 따라 바닥으로 내려가면서 변화되는 크롬웰 전극의 저항치의 변화량을 이용해 경사진 곳의 기울기를 측정하고 각도 센서에 의해 큰 각에서부터 작은 각까지 광범위한 측정범위가 되고 센서의 크기가 작으므로 그 적용이 용이하다는 효과가 있다