일반기술

유리화 비정형 탄소를 이용한 전계 방출 소자 및 그 제조 방법

본 기술은 유리화 비정형 탄소를 전기 영동법으로 기판에 코팅하여 전계 방출 음극으로 사용함으로써 안정된 다량의 전자 방출 소자를 구현할 수 있는 방법에 관한 것이다.기존의 다이아몬드 또는 다이아몬드성 탄소 등의 탄소계 재료를 음극 재료로 사용하는 전계 방출 소자는 아크 현상을 유발하고, 계속되는 사용에 의해 전계 방출 거동이 열화된다는 문제가 있다.반면, 본 기술에서는 전기적 특성과 기계적 특성이 우수한 유리화 비정형 탄소를 전계 방출 소자의 음극으로 사용하여, 탄소계 물질의 장점을 살리되 다이아몬드계 재료에서 관찰되는 전자의 공급이 원활하지 못한 문제를 해결하고, 다량의 결함을 가지고 있는 유리질의 고상 탄소 재료인 유리화 비정형 탄소를 사용하여 전기 전도도가 우수하면서 기계적 강도가 뛰어나도록 구현할 수 있다본 기술에 의한 전계 방출 소자는 유리화 비정형 탄소막을 전계 방출 소자의 음극으로 사용하고, 탄소막은 기판 상에 형성되며, 탄소막과 기판 사이에는 금속 전극이 형성되도록 구성되어 있다.본 기술에 의한 전계 방출 소자 제조 방법은 전계 방출 소자의 전계 방출 전극용 기판 상에 전기 영동법으로 유리화 비정형 탄소 분말을 도포하고, 전기 영동법에 사용되는 유리화 비정형 탄소 분말은 약 10㎛ 이하의 지름을 갖도록 이루어져 있다.이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 유리화 비정형 탄소의 분말을 유리 기판 위에 형성된 금속 전극상에 전기 영동법으로 도포함으로써, 평판 표시 소자나 진공 전자 소자에 적합한 전계 방출 음극을 제조하게 되며, 이러한 음극은 전계 방출의 효율이나 안정성 면에서 뛰어난 효과가 있다