일반기술

도파관 밸브

본 기술은 진공상태하에서 대전력 초고주파를 전달하는 경로상에 설치되어 별도의 결합수단 없이 대전력 초고주파의 전송과 진공차단을 수행하는 도파관 밸브에 관한 것이다. 일반적으로 도파관 밸브로는 SLAC형, IHEP형, SLC형이 사용되고 있으며, 이 중 SLAC형은 전력전송의 결합방식이 아이리스를 통해 이루어지기 때문에 대전력 전송시 초고주파 절연파괴가 자주 발생되고, IHEP형은 진공차단을 위해 나이프 에지와 인듐시일을 사용하기 때문에 여러 번 반복하여 사용하는 경우에는 금속 인듐시일면에 이빨자국이 생기고, 또한 나이프 에지면에 인듐 조각이 고착될 수 있으므로 대전력 전송시 고주파 절연파괴가 발생되며, SLC형은 choke short 방식으로 마이크로파 누설을 차단하고 있으나 여전히 고주파 절연파괴의 가능성이 있고, 진공시일의 이동 메카니즘 및 구조가 복잡한 문제가 있다. 반면, 본 기술은 진공상태하에서 대전력 초고주파를 전달하는 경로상에 설치되어 별도의 결합수단 없이 대전력 초고주파의 전송과 진공차단을 수행함으로서 대전력 전송시 발생되는 고주파 절연파괴를 방지할 수 있도록 하여 전송 용량을 늘릴 수 있도록 하였다. 본 기술의 도파관 밸브는 진공챔버와 상면이 진공챔버의 하면을 형성하도록 설치되며, 그 하부에 진공챔버와 연통되는 고주파 유입통로와 배출통로가 형성된 도파관 연결부와 진공챔버 내부에 제1액튜에이터에 의해 상하로 이동가능하게 설치되며, 도파관 연결부의 상면과 접촉되어 고주파 유입통로와 배출통로를 연결시키는 U자형 도파관과, 도파관 연결부의 상면에 제2액튜에이터에 의해 직선 왕복 이동 가능하게 설치되며, 고주파 유입통로를 선택적으로 진공차단시키는 진공기밀판으로 이루어진 특징이 있다. 본 기술에 의하면 대전력 초고주파 전송시 발생되는 고주파 절연파괴를 방지할 수 있어 전송 용량을 80MW 이상으로 늘릴 수 있게 되고, 구조가 단순하여 원가를 절감할 수 있게 되며 조작이 편리한 이점이 있다.